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薄膜太阳能腔体的制造
薄膜太阳能的介绍
◾ 是指等离子体增强化学气相沉积法,是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。
模块结构
◾ 我司制作的光伏真空腔体,包括反应腔体、转接板和上盖,所述转接板安装在所述反应腔体和所述上盖之间,所述上盖的底部设置有电极板盖板,所述反应腔体的底部设置有固定底座,所述反应腔体的两端分别开设有多个传输端安装孔,两侧分别开设有矩形状的第一安装孔和第二安装孔,所述反应腔体的底部设置有两块呈平行分布的固定板。
工序流程
◾ 下料
腔体的各个部件根据图纸工艺下料,下料的工具有激光、等离子、锯床或线切割等设备。
◾ 打磨
根据客户的需求,将部件表面进行拉丝,保证表面无缺陷
◾ 焊接前机加工
为了防止腔体后序不能加工的部分,焊接前必须根据图纸工艺加工,质量检验合格后,才能进行下道工序
◾ 焊接
铆工按照图纸将准备好的部件进行拼装,焊工需配合铆工,将拼接好的部件进行点焊,防止脱落。待全部拼接好后,进行焊接。通常大气侧采用间断焊,真空侧采用连续焊。
◾ 数控加工
焊接完成后根据加工工艺选择合适的机床,参照图纸,进行全面的加工,质量需要全方位的检验,保证质量。
◾ 精工
为了节约成本,孔以及螺纹,可以采用摇臂钻打孔攻丝
◾ 表面处理
腔体表面预处理(处理表面缺陷,焊接缺陷,密封面) → 化学处理(各部件进行酸洗 /电解) → 真空检漏(检查腔体是否有缺陷,能否达到客户的漏率要求) → 清洗表 面、精修密封面(密封面需要做保护) → 包装
薄膜太阳能腔体