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真空镀膜设备
什么是真空镀膜
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
原材料与基本原理
原材料是树脂、聚合物、铁氟隆、硅酮、丙烯酸、硅酸盐等。例添加的乳化剂,不同的量相调和,乳化出来的状态就不一样,水状、乳状、膏状都可以实现。这些物质经乳化破乳后,部份渗透或形成薄膜。
镀膜设备的特点
镀膜产品添加了成膜助剂与固化剂,真空镀膜厂家使其瞬间成膜,性质相应的发生了改变。 市面上真空镀膜设备有很多种类型,有的真空镀膜设备是根据采用的技术来命名,有的真空镀膜设备是用所应用领域来命名,应用领域不一样,名字不一样,型号不一样。
镀膜设备对环境的要求
加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。
基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至最小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。
清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。