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油扩散泵

发布时间:

2023/04/17 21:39

如图所示,油扩散泵结构由锅炉、多级喷射组件和没有机械移动机构的气缸组成。油在锅炉中加热,汽化并以超音速从射流烟囱的每个阶段流出。泵高真空(入口)侧的气体通过扩散被捕获在喷射蒸汽中,并从上部输送到下部喷射级,从而在此过程中对其进行压缩。然后,这些泵送的气体通过出口排出到前级泵(例如油封旋转真空泵)。来自射流烟囱的蒸汽流在泵体内壁上冷却和冷凝,然后返回锅炉。通过重复此过程,即可完成疏散。锅炉中提供的堰板允许流体的返回和再循环,使流体的分馏成为一个连续的过程。

扩散式气体检测仪是通过空气的自然流动,过程中会有部分空气流入到检测仪的内部,气体检测仪对流入其中的气体进行检测,并得出成果。相对泵吸式气体检测仪来说,由于没有吸气泵,扩散式气体检测仪的采样速度较慢。

旋片式真空泵是抽除气体的基本设备之一,它可单独使用,也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高泵连接在一起作为前级泵使用。

传统真空泵通常可以分为两种,一种是压缩型真空泵,通过改变容积或传输动量把气体分子从腔室中抽走,在真空泵与待抽腔室之间形成压强差,使气体分子由高压流向低压,然后抽出泵外,这种类型的泵有旋片式机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵等。另一种是吸附型真空泵,气体分子没有被抽出腔室,而是利用一些材料的吸附掩埋作用,使气体分子离开气相空间,实现降低压强的效果,例如溅射离子泵、低温泵、升华泵等。

扩散泵是一种蒸气射流泵,泵油被加热后产生油蒸汽,油蒸汽从伞形喷嘴高速喷出,射流上方的气体扩散到射流内并被高速的大分子油蒸汽携带到泵壁。由于泵壁温度较低,油蒸汽接触到泵壁后会迅速液化,被携带的气体继续向下一级射流扩散并被携带至更下一级,直至被前级真空泵抽走。一般的扩散泵有3到5级伞形喷嘴,有的扩散泵还会增加一级侧向的喷射喷嘴,喷射喷嘴可以提高扩散泵在较高压力下的能力(抽速和前级耐压)。

高真空润滑脂的应用范围广泛,主要用于高真空设备的密封和润滑。例如,用于航空航天器、卫星和空间站等空间设备的密封和润滑;用于半导体生产设备和真空离子镀膜设备的密封和润滑;用于大型真空泵、扩散泵和离子泵的密封和润滑等。

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