小型单晶炉
发布时间：
2023/07/31 21:24
公司深耕半导体领域，技术储备丰富，率先开发出多种半导体晶体生长设备。公司相继开发出具有完全自主知识产权的全自动单晶炉、多晶铸锭炉、区熔硅单晶炉等晶体生长设备，公司研发的大尺寸、大投料量型单晶炉能够实现大尺寸晶体生长，满足下一代大规格硅片对单晶生长设备的需求。2021年，公司研制出国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉，成功生长出12英寸单晶硅棒；同时在12英寸大硅片设备领域陆续研发了减薄设备、双抛设备、最终抛光设备。
国内稀缺的半导体级别单晶炉生产商：在半导体级别的单晶炉领域具备先发优势，其全自动单晶生长炉可满足在均匀性和缺陷密度等方面要求更高的半导体行业客户需求，突破了国内高端晶体硅材料生长设备特别是大尺寸晶体硅材料生长设备长期被国外大型企业垄断的产业格局，是国内稀缺的能做大尺寸单晶炉的厂商。目前在8英寸单晶炉领域已成功实现进口替代，12英寸单晶炉也进入小批量产阶段。
公司是一家半导体专用设备供应商，主要从事晶体生长设备的研发、生产和销售。自成立以来，公司基于高温高真空晶体生长设备的技术同源性，结合产业链上下游技术协同优化的能力，致力于新产品、新技术及新工艺的研究与开发，并聚焦于半导体领域，向半导体材料厂商及其他材料客户提供半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉和蓝宝石单晶炉等定制化的晶体生长设备。
项目上通过与IOT系统的集成，提供了一种单晶生长炉设备预测性维护方法，参考单晶生长炉设备的设备本身的振动、噪声、温度、电流、电压、液压系统数据、加热系统数据、控制系统数据，获取单晶生长炉设备的指标各自对应的样本数据集；
根据各个所述预测性维护模型对单晶生长炉设备进行预测性维护，根据各个所述预测性维护模型对单晶生长炉设备进行预测性维护；
（3）发行人（）先进行12英寸半导体级单晶硅炉产品研发，后进行8英寸半导体级单晶硅炉产品研发，主要基于半导体级单晶硅炉业务开展背景及下游应用需求，且从技术研发角度，各尺寸产品研发不存在必然的时间顺序逻辑，具有合理性。
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