真空卷绕腔室
发布时间：
2024/01/08 20:37
通常情况下，根据实验或过程，在用户和设计师之间的交流中设计腔室。单独定制腔室的另一选择是标准的真空室。这些是预配置的基础结构，可通过自由可选的端口予以补充。与完全定制的真空室相比，它们更加快速、实惠。
低压等离子体涂覆：要在真空环境密闭式腔室里边导入单体（其实就是涂层，不论是气态或液态都能够），随后单体会在等离子体的影响下发生聚合反应。根据等离子体聚合所获得层厚度在这个微米区域之内。
由于矩形腔室或类似设计，必须检查表面偏转和出现的张力。如果它们过高，必须增加壁厚或对该区进行局部加固，如通过额外的焊接肋板。为此，可以使用采用有限元法(FEM)执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力外，也有必要检查在的负载条件下，密封面是否互相保持平整。如果密封面歪曲，可能发生泄漏，阻碍腔室的使用。
由于矩形腔室或类似设计，必须检查表面偏转和出现的张力。如果它们过高，必须增加壁厚或对该区进行局部加固，如通过额外的焊接肋板。为此，可以使用采用有限元法(FEM)执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力外，也有必要检查在的负载条件下，密封面是否互相保持平整。如果密封面歪曲，可能发生泄漏，阻碍腔室的使用。
预抽真空传输体是大气和真空的中转腔室，用来隔绝反应室与外界大气直接接触，以确保反应室内的洁净，降低反应室受污染的概率。预抽真空传输体需要频繁的在大气和真空状态中进行切换，前端模块需要向预抽真空传输体取放晶圆时，需要充入氮气，将腔内的气压调整为大气状态，再开启预抽真空传输体在前端模块一侧的传输阀门，进行晶圆取放；当从传输腔（传输平台的一部分）向预抽真空传输体取放晶圆时，需要用真空泵将预抽真空传输体中的气体抽出，调整至真空状态，然后开启预抽真空传输体另一侧的传输阀，再进行晶圆取放。
传统真空泵通常可以分为两种，一种是压缩型真空泵，通过改变容积或传输动量把气体分子从腔室中抽走，在真空泵与待抽腔室之间形成压强差，使气体分子由高压流向低压，然后抽出泵外，这种类型的泵有旋片式机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵等。另一种是吸附型真空泵，气体分子没有被抽出腔室，而是利用一些材料的吸附掩埋作用，使气体分子离开气相空间，实现降低压强的效果，例如溅射离子泵、低温泵、升华泵等。
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